ГОСТ Р 59606-2021. Национальный стандарт Российской Федерации. Оптика и фотоника. Устройства фотоприемные второго и последующих поколений. Методы измерений фотоэлектрических параметров и определения характеристик
4.16 Метод определения коэффициента фотоэлектрической связи с использованием маски
4.16.1 Сущность метода
4.16.1.1 Метод позволяет определить коэффициент ФЭС ФПУ.
4.16.1.2 За коэффициент ФЭС ФЧЭ ФПУ принимают отношение напряжения сигнала с закрытого маской (необлученного) ФЧЭ ФПУ к сигналу с облученного ФЧЭ.
4.16.1.3 За коэффициент ФЭС ФПУ допускается принимать коэффициент ФЭС одиночного ФЧЭ или среднее значение коэффициента ФЭС по нескольким элементам.
4.16.2 Средства измерений и вспомогательное оборудование
4.16.2.1 Требования к СИ и вспомогательному оборудованию - по 4.1.2.1 - 4.1.2.3, 4.1.2.5, 4.13.2.2, 4.13.2.3, с учетом дополнений, приведенных в данном пункте.
4.16.2.2 Источник излучения - по 4.1.2.4, кроме излучателя в виде модели АЧТ с плоской излучающей поверхностью большого размера.
4.16.2.3 Влияние оптических элементов, входящих в состав источника излучения, можно не учитывать.
4.16.2.4 Маска должна представлять из себя тонкую плоскопараллельную пластину из материала, прозрачного в спектральном диапазоне работы ФПУ. На пластину должен быть нанесен рисунок из непрозрачного в спектральном диапазоне работы ФПУ материала. Рисунок должен включать в себя окна (места отсутствия непрозрачного материала), имеющие форму ФЧЭ, размер a которых должен определяться, исходя из следующего условия (см. рисунок 12):
, (101)
где p - размер ФЧЭ;
- погрешность измерения сигнала с облученного ФЧЭ, определяемая по формуле
, (102)
где d - размер диафрагмы источника излучения;
l - расстояние от маски до подложки ФПУ;
h - расстояние от диафрагмы источника излучения до маски;
tп - толщина подложки ФПУ;
nп - показатель преломления материала подложки ФПУ в спектральном диапазоне работы ФПУ;
tм - толщина пластины маски;
nм - показатель преломления материала пластины маски в спектральном диапазоне работы ФПУ.
Кроме того, должно быть выполнено следующее условие:
. (103)
1 - источник излучения; 2 - диафрагма; 3 - маска;
4 - непрозрачный рисунок; 5 - подложка; 6 - плоскость ФЧЭ
Рисунок 12
Допускается наносить более одного окна, при этом они должны быть расположены на расстоянии не менее трех шагов ФЧЭ друг от друга.
4.16.2.5 Максимальное ОСШ при проведении измерений должно быть не менее 200.
4.16.2.6 Расстояние от источника излучения (или его диафрагмы) до маски должно выбираться исходя из условий, приведенных в 4.16.2.4.
4.16.3 Подготовка к измерениям
4.16.3.1 Измерение следует проводить на установке, структурная схема которой приведена на рисунке 13.
1 - микроскоп; 2 - источник излучения; 3 - заслонка;
4 - маска (устанавливается вплотную к плоскости ФЧЭ ФПУ);
5 - испытуемый образец; 6 - криостатируемый столик (может
отсутствовать); 7 - БЭО; 8 - ПК со специализированным ПО
Рисунок 13
4.16.4 Проведение измерений
4.16.4.1 Климатические условия проведения измерений - по 4.1.4.1.
4.16.4.2 Выполняют действия по 4.1.4.2 - 4.1.4.5.
4.16.4.3 Маску устанавливают непосредственно на плоскость ФЧЭ ФПУ и совмещают таким образом, чтобы центр окна совпадал с центром ФЧЭ. Контроль производят с помощью микроскопа.
4.16.4.4 Проводят измерение сигнала на засвеченном (находящимся под окном маски) ФЧЭ и соседних ФЧЭ согласно 4.2, при этом 4.2.4.3, 4.2.4.4 выполняют при закрытой заслонке, а 4.2.4.5, 4.2.4.6 - при открытой. Допускается проводить измерения сигнала со всех ФЧЭ ФПУ.
4.16.5 Обработка результатов
4.16.5.1 Вычисляют для каждого ФЧЭ коэффициент ФЭС по 4.15.5.1.
4.16.5.2 Относительную погрешность измерения коэффициента ФЭС вычисляют по 4.15.5.2.
4.16.5.3 Погрешность определения коэффициента ФЭС ФПУ не должна выходить за пределы интервала +/- 12% с заданной вероятностью P = 0,95.
Подписаться на обновления