ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний

C.11 Контроль осаждения частиц

C.11.1 Материал контрольной пластины - выбор материала зависит от определяемого размера частиц и средств измерения, может использоваться следующее:

a) микропористые мембранные фильтры;

b) двухсторонняя адгезирующая лента;

c) чашки Петри;

d) чашки Петри с полимером контрастного (черного) цвета, например, полиэфирная смола;

e) фотографические пленки (пластины);

f) слайды для микроскопа (гладкие или с напыленной металлической пленкой);

g) стеклянные или металлические зеркальные пластины;

h) заготовки полупроводниковых пластин;

i) стеклянные подложки для масок фотолитографии;

j) прозрачные пластмассовые пластины.

Контрольные пластины должны быть достаточно гладкими, чтобы обеспечить четкое различение частиц по размерам и убедиться, что частицы легко различимы. Материал контрольных пластин должен быть электростатически нейтральным. Применяемые средства контроля должны различать и измерять размер наименьших частиц, которые должны быть сосчитаны. Прозрачные контрольные пластины не должны содержать дефектов.

Осаждение частиц может быть определено путем измерения зоны, покрытой осевшими частицами, или счетом (и оценкой размеров) частиц, осевших на контрольную пластину. Контроль осаждения частиц может различаться для частиц с размерами, применяемыми для оценки чистоты воздуха (от 0,1 до 5,0 мкм), и для макрочастиц (с размерами равными или большими 5,0 мкм).

Таблица C.8

Контроль осаждения частиц с помощью анализатора поверхности

Параметр	Минимальные требования
Пределы измерений	Счетная концентрация на поверхности: 1 - 10⁶ частиц/см² Размер частиц: 0,1 - 5,0 мкм
Разрешающая способность	Размер частиц: 0,1 мкм
Максимально допустимая ошибка	Размер частиц: 1,0 мкм

Таблица C.9

Приборы для контроля осаждения макрочастиц

Параметр	Минимальные требования
Пределы измерений	Покрываемая площадь: 1 - 5000 10^-6 м²/м² Размер частиц: >= 5 - >= 500 мкм
Разрешающая способность	Покрываемая площадь: 10·10^-6 м²/м² Размер частиц: 10 мкм
Максимально допустимая ошибка	Покрываемая площадь: 20·10^-6 м²/м² Размер частиц: 20 мкм

C.11.2 Сканер поверхности пластины - измеряет частицы с использованием лазерного сканера и устройств формирования изображения на основе микроскопа или электромикроскопа для определения размеров обнаруженных частиц.

C.11.3 Фотометр для осажденных частиц (седиментометр) - измеряет общий рассеянный свет от частиц, осевших на темные стеклянные накопительные пластины, и представляет эти данные как коэффициент седиментации, который связан с концентрацией частиц, которые могли бы осесть на критические поверхности.

Калибровка выполняется с помощью флюоресцентных частиц с размерами 4 мкм и 10 мкм или полистирольных микросфер с номинальными размерами 90 мкм и 45 мкм. Площадь измеряемой зоны < 2 см².

C.11.4 Счетчик частиц на поверхности - определяет число (и размеры) дискретных частиц, осевших на поверхности, в основе работы лежит эффект рассеяния света.

Площадь контролируемой зоны составляет от 0,2 см² до 3 см². Контролируемая зона может быть увеличена путем сканирования. Разрешающая способность по размерам составляет от 0,1 мкм до 25 мкм в зависимости от выбранной оптической системы.

C.11.5 Измеритель осаждения частиц - определяет число частиц и их размеров на стеклянной контрольной пластине. Стекло освещается снизу. Для сканирования заданной зоны используется координатный стол. Для получения распределения частиц по размерам может использоваться визуализационное программное обеспечение. Скорость осаждения может быть определена по распределению частиц по размерам, контролируемой площади и времени экспонирования.

C.11.6 Оптический монитор осаждения частиц

Оптическая система для обнаружения частиц на наклонной поверхности путем контроля изменения интерференционной картины расходящегося лазерного луча. Площадь измерения может составлять от 10 см² до 100 см². Коммерчески доступное оборудование имеет, например, контрольную поверхность 60 см². Могут обнаруживаться частицы с размерами >= 20 мкм. Картина осаждения частиц проецируется на горизонтальную поверхность.