ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний

C.10 Контроль статического электричества и генерирования ионов

C.10.1 Электростатический вольтметр - прибор, используемый для измерения среднего напряжения (потенциала) на маленькой площади путем измерения напряженности электрического поля на электроде внутри пробника через маленькую диафрагму в пробнике.

Минимальные требования к электростатическому вольтметру приведены в таблице C.5.

 

Таблица C.5

 

Характеристики электростатического вольтметра

 

Параметр	Минимальные требования
Пределы измерений	+/- (1 - 20) кВ
Разрешающая способность	10 В (1 - 20 кВ)
Максимально допустимая ошибка	10% показаний

 

C.10.2 Высокоомный омметр - прибор, используемый для измерения сопротивления изолирующих материалов и компонентов путем определения тока утечки от устройства под высоким напряжением к испытуемому устройству.

Минимальные требования к высокоомному омметру приведены в таблице C.6.

 

Таблица C.6

 

Характеристики высокоомного омметра

 

Параметр	Минимальные требования
Пределы измерений	1000 Ом - 20 ГОм
Разрешающая способность	0,01 МОм
Максимально допустимая ошибка	5% от полной шкалы
Напряжение при контроле	От 100 В до 1000 В постоянного тока

 

C.10.3 Регистратор заряда пластины - устройство для измерения нейтрализационной способности ионизаторов или ионизационных установок.

Минимальные требования к регистратору заряда пластины приведены в таблице C.7.

 

Таблица C.7

 

Характеристики регистратора заряда пластины

 

Параметр	Минимальные требования
Пределы измерений	+/- 5 кВ
Разрешающая способность	0,1 В (< 100 В), 1,0 В (> 99 В)
Максимально допустимая ошибка	5% от полной шкалы