ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний

C.8 Контроль целостности установленной системы фильтрации

C.8.1 Фотометр аэрозолей - устройство для определения массовой концентрации аэрозолей, мг/м³. Прибор, использующий оптическую камеру с прямым рассеянием света для выполнения этих измерений. Этот прибор может использоваться для непосредственного определения утечки в фильтрах.

Минимальные требования к фотометру аэрозолей приведены в таблице C.4.

Таблица C.4

Фотометр аэрозолей

Параметр	Минимальные требования
Пределы измерений	От 0,0001 мг/м³ до 100 мг/м³
Разрешающая способность	0,0001
Максимально допустимая ошибка	10% от полной шкалы

Размеры пробоотборной трубки (длина и внутренний диаметр) должны соответствовать рекомендациям производителя.

Примечание - Размеры пробоотборника приведены в B.7.2.2.

C.8.2 Счетчик аэрозольных частиц, работающий по принципу рассеяния света (LSAPC) по C.5.1.

C.8.3 Генератор аэрозолей по C.5.2.

C.8.4 Вещества для получения контрольного аэрозоля по C.5.3.

C.8.5 Система разбавления (дилютер) см. C.5.4.