ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний

C.7 Контроль влажности

Контроль влажности следует выполнять при помощи сенсора, имеющего точность согласно ИСО 7726 [28].

Как правило, применяются следующие приборы:

a) датчик точки росы (например, психрометр);

b) гигрометр на основе изменения электрической проводимости:

1) литий-хлоридный гигрометр;

2) емкостной гигрометр.

Разрешающая способность должна быть не менее 20% от допустимого диапазона изменения влажности для разницы между установленным значением влажности и допустимым отклонением от этого значения.

Примечание - Требования к диапазону, точности и т.д. зависят от назначения чистого помещения или чистой зоны. ИСО 7726 применяется для общих целей.