ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний

C.6 Контроль температуры

Контроль температуры следует выполнять при помощи сенсора, имеющего точность согласно ИСО 7726 [28], например:

a) термометры расширения:

1) жидкостной термометр расширения;

2) твердотельный термометр расширения;

b) электрический термометр:

1) термометр переменного сопротивления, включая:

- платиновый резистор;

- термистор;

2) термометр, основанный на формировании электродвижущей силы (термопара);

c) термоманометр (работает по принципу изменения давления жидкости при изменении температуры).

Разрешающая способность должна быть не менее 20% от допустимого диапазона изменения температуры для разницы между установленным значением температуры и допустимым отклонением от этого значения.

Примечание - Требования к диапазону, точности и т.д. зависят от назначения чистого помещения или чистой зоны. ИСО 7726 [28] применяется для общих целей.