БИБЛИОТЕКА НОРМАТИВНЫХ ДОКУМЕНТОВ

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний

B.7 Испытание целостности установленной системы фильтрации

ВНИМАНИЕ. Испытание с использованием аэрозоля может привести к неприемлемому уровню загрязнения частицами или молекулярному загрязнению внутри чистого помещения. Применение некоторых контрольных аэрозолей может при определенных условиях быть опасным для здоровья. Настоящий стандарт не рассматривает вопросы безопасности применения приведенных методов испытаний. Ответственность за установление и соблюдение мер безопасности, определение степени риска и соблюдение требований нормативных документов лежит на пользователе. Соответствие требованиям безопасности должно быть проверено до начала практического использования настоящего стандарта.

B.7.1 Общие положения

B.7.1.1 Область применения

Данные виды испытаний предназначены для подтверждения того, что высокоэффективная система фильтрации воздуха с интегральной эффективностью 99,95% или выше для размеров наиболее проникающих частиц (MPPS) установлена надлежащим образом, что проверяется по отсутствию обходных утечек и отсутствию дефектов в фильтрах (маленьких отверстий и других повреждений фильтрующего материала, в корпусе фильтра, герметике и утечек в конструкциях, в которые установлены фильтры). Часть настоящих методов, приведенных в B.7, заимствована в IEST-RP-CC034.4 [21].

Данные виды испытаний не предназначены для определения эффективности фильтрующего материала. При испытаниях на утечку определятся величина утечек, допустимая для данного чистого помещения. Методы испытаний включают в себя подачу на вход фильтра контрольного аэрозоля и сканирование после фильтра в зоне самого фильтра и элементов его крепления или отбор пробы в воздуховоде после фильтра. Данный вид испытаний выполняется для чистых помещений или чистых зон в построенном или оснащенном состояниях при аттестации новых или при повторной аттестации существующих чистых помещений, а также после замены высокоэффективных фильтров.

В B.7.2 и B.7.3 приведены две методики испытаний для фильтров, установленных в потолке, стенах или в оборудовании. Методика испытаний для фильтров, установленных в воздуховодах, приведена в B.7.4. Применяются различные приборы и методы, в частности, с использованием фотометра аэрозолей по B.7.2, определяющего массовую концентрацию аэрозоля, и с применением LSAPC по B.7.3, определяющего число частиц.

B.7.1.2 Методика с использованием фотометра аэрозолей

Фотометр аэрозолей может использоваться для проведения испытаний (B.7.2):

a) чистых помещений и чистых зон со всеми видами систем подготовки воздуха;

b) чистых помещений, в которых оседание контрольного аэрозоля на основе летучих масел на фильтрах или стенках воздуховодов при проведении испытаний неопасно для продукции, процессов и/или персонала внутри чистого помещения или чистой зоны.

Примечание - Применение фотометра аэрозолей может потребовать более высокой концентрации аэрозоля на входе фильтра по сравнению со счетчиком частиц LSAPC.

 

B.7.1.3 Методика с использованием счетчика аэрозольных частиц, работающего на принципе рассеяния света (LSAPC)

Метод LSAPC (B.7.3) может использоваться для испытаний:

a) чистых помещений и чистых зон со всеми видами систем подготовки воздуха;

b) чистых помещений, в которых оседание контрольного аэрозоля на основе летучих масел на фильтрах или стенках воздуховодов недопустимо или если рекомендуется использовать аэрозоли с твердыми частицами.

Примечания

1 Этот метод требует проведения вычислений до начала работы и может потребовать использования дилютера (см. C.5.4). Вычисления могут выполняться вручную, с помощью независимого компьютера, прибора, связанного с компьютерами или с помощью автоматизированных средств, связанных со счетчиком (LSAPC).

2 Данный метод может применяться для аэрозолей на основе масел, когда допускается выделение газов.

 

B.7.2 Методика испытания целостности установленной системы фильтрации сканированием с использованием фотометра аэрозолей

B.7.2.1 Общие положения

Подготовительные этапы описаны в B.7.2.2, B.7.2.3, B.7.2.5 и B.7.2.6, критерии приемлемости - в B.7.2.4, методика испытаний - в B.7.2.7, рекомендации по ремонту - в B.7.6 [17], [18], [21].

B.7.2.2 Определение размеров пробоотборника

Рекомендуется применять пробоотборник с прямоугольным входным отверстием и размерами Dp = 1 см и Wp = 8 см, или круглый пробоотборник с диаметром Dp = 3,6 см. Dp - размер пробоотборника, параллельный направлению сканирования, выраженный в см; Wp - размер пробоотборника, перпендикулярный направлению сканирования, выраженный в см.

B.7.2.3 Определение скорости сканирования

Скорость сканирования пробоотборником Sr должна составлять примерно 5 см/с [21].

B.7.2.4 Критерий приемлемости

При обнаружении во время сканирования утечки, равной или большей предела, характеризующего утечку, следует удерживать пробоотборник у места утечки. Максимальные показания фотометра аэрозолей указывают на место утечки.

При утечках более 0,01% от массовой концентрации аэрозоля до фильтра считается, что максимально допустимый проскок превышен. Однако, для систем фильтрации с интегральной эффективностью в точке MPPS >= 99,95% и меньше 99,95% критерий приемлемости равен 0,1%.

Если системы фильтрации имеют интегральную эффективность менее 99,95% в точке MPPS, то следует установить другой критерий приемлемости по согласованию между заказчиком и исполнителем.

Действия по устранению обнаруженных утечек приведены в B.7.6.

B.7.2.5 Выбор контрольных аэрозолей

В поток воздуха до фильтра следует ввести искусственный аэрозоль, полученный с помощью распылителя Ласкина, термогенератора или другого устройства, для того чтобы получить требуемую однородную концентрацию. Средний диаметр частиц по массе для этого метода обычно составляет от 0,3 мкм до 0,7 мкм со стандартным геометрическим отклонением до 1,7.

Примечание - Руководство по выбору веществ, служащих источником аэрозолей, дано в C.8.4.

 

B.7.2.6 Концентрация аэрозоля до фильтра и ее проверка

Концентрация аэрозоля до фильтра должна быть от 1 мг/м3 до 100 мг/м3.

Примечание - Не все фотометры могут работать с концентрацией аэрозоля до фильтра 1 мг/м3.

 

Следует принять меры по контролю однородности смешивания аэрозоля, введенного в поток приточного воздуха. При первом испытании системы следует убедиться, что смешивание аэрозоля происходит удовлетворительно. Для этого все точки ввода аэрозоля и отбора проб должны быть определены и записаны.

Концентрация аэрозоля до фильтра, измеренная непосредственно перед фильтрами, не должна различаться более чем на +/- 15% во времени относительно среднего измеренного значения. При концентрациях меньше среднего значения чувствительность по определению небольших утечек будет снижена, в то время как для больших концентраций чувствительность для малых утечек будет увеличена. Более подробные требования к проведению испытаний на смешивание аэрозоля с воздухом должны быть согласованы заказчиком и исполнителем.

B.7.2.7 Методика испытания целостности установленной системы фильтрации при помощи сканирования

До начала испытаний следует определить скорость потока воздуха (B.2). При эксплуатации систем с различными скоростями потока воздуха при испытаниях следует использовать наибольшее значение скорости. Метод состоит в подаче контрольных аэрозолей на вход фильтров и в поиске утечек путем сканирования поверхности фильтра пробоотборником фотометра со стороны выхода воздуха, а также элементов крепления, при этом:

a) определяется концентрация аэрозоля до фильтров по B.7.2.6. Эта концентрация должна использоваться как 100% опорное значение на входе фильтра для фотометра. Значения концентрации после фильтра будут затем выражаться как процентная доля от концентрации до фильтра;

b) пробоотборник следует перемещать со скоростью сканирования 5 см/с или менее перекрывающими движениями (рекомендуемая величина перекрывания 1 см). Пробоотборник должен двигаться на расстоянии 3 см или менее от поверхности фильтра или элементов крепления ниже по течению воздуха;

c) сканирование следует выполнять по всей лицевой поверхности каждого фильтра, периметру каждого фильтра, местам герметизации между корпусом фильтра и конструкцией, в которую он установлен, включая соединения, ниже по течению воздуха;

d) измерение концентрации аэрозоля до фильтров следует повторять через достаточные интервалы времени между и после сканирования, чтобы подтвердить стабильность концентрации аэрозоля до фильтра (см. B.7.2.6).

B.7.3 Методика испытания целостности установленной системы фильтрации при помощи сканирования с использованием счетчика аэрозольных частиц, работающего по принципу рассеяния света (LSAPC)

B.7.3.1 Общие положения

Подготовительные этапы приведены в B.7.3.2 - B.7.3.7, методика испытаний - в B.7.3.8 и B.7.3.9, критерии приемлемости - в B.7.3.4, рекомендации по ремонту - в B.7.6. Пример применения приведен в B.7.3.10.

Испытание выполняется в два этапа:

- этап 1: на первом этапе проводится сканирование поверхности фильтра со стороны чистого помещения на предмет обнаружения потенциальной утечки. Если при сканировании счетчик обнаруживает число частиц, превышающее приемлемый уровень для данных условий испытаний, Na, за время отбора пробы, Ts, то это указывает на потенциальное наличие утечки. В этом случае переходят ко второму этапу. Если превышение не обнаружено, то дальнейший анализ не проводится. Методы расчета Na приведены в B.7.3.5, Ts - в B.7.3.8.2. Метод сканирования на этапе 1 дан в B.7.3.8;

- этап 2: на втором этапе пробоотборник помещается неподвижно в точке с максимальным числом частиц под местом потенциальной утечки и выполняется стационарное измерение. Если при неподвижном состоянии счетчика число обнаруженных частиц за время Tr превысит допустимое значение для данных условий испытаний, Nar, то это указывает на наличие утечки. Порядок расчета величин Nar и Tr приведен в B.7.3.9.2. Метод выполнения стационарного измерения для этапа 2 дан в B.7.3.9.

B.7.3.2 Определение размеров пробоотборника

Площадь входного отверстия пробоотборника должна быть такой, чтобы скорость входящего в него воздуха была такой же, что и на лицевой поверхности фильтра при допустимом отклонении +/- 20%. Эта площадь может быть рассчитана по формуле (B.7)

 

Dp·Wp = Qva/U, (B.7)

 

где Dp - размер стороны пробоотборника <1>, параллельной направлению сканирования, см;

Qva - скорость отбора проб счетчика (LSAPC), см3/с;

U - скорость воздуха на лицевой поверхности фильтра, см/с;

Wp - размер стороны пробоотборника, перпендикулярной направлению сканирования, см.

Рекомендуется применять пробоотборник с прямоугольным входным отверстием и размерами Dp = 1 см и Wp = 8 см или круглый пробоотборник с диаметром Dp = 3,6 см. Рекомендуемые размеры пробоотборника даны для счетчика частиц со скоростью отбора проб, Qvs, равной 0,000472 м3/с (472 см3/с, 28,3 л/мин или 1 фут3/мин).

Если скорость воздуха на лицевой поверхности фильтра необычно высока (> 1 м/с), то по формуле (B.7) могут быть рассчитаны меньшие размеры для пробоотборника, Dp.

Для круглого пробоотборника величина Dp может определяться по формуле (B.8)

 

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний, (B.8)

 

где Dp - номинальный размер пробоотборника <1>, параллельный направлению сканирования, см;

D0 - действительный размер пробоотборника (диаметр), см;

Ws - размер зоны перекрывания, перпендикулярной направлению сканирования, см.

--------------------------------

<1> Для круглого пробоотборника вместо термина "размер стороны пробоотборника, Dp" применяется термин "номинальный размер пробоотборника Dp" (примечание ТК 184).

 

Для круглого пробоотборника с диаметром D0 3,6 см, диаметр Dp составляет 2,54 см.

 

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний

 

a - зона перекрывания; b - направление сканирования

 

Рисунок B.1 - Размеры круглого пробоотборника

 

Примечание - Для наиболее эффективного сканирования поверхности следует выбрать величину Ws, при которой Dp = Wp. Для круглого пробоотборника диаметром 3,6 см наиболее эффективным значением Dp является 2,54 см (рисунок B.1).

 

B.7.3.3 Определение скорости сканирования

Для прямоугольного пробоотборника с размерами входного отверстия Dp = 1 см и Wp = 8 см скорость сканирования, Sr, должна составлять 5 см/с или менее.

Для круглого пробоотборника с диаметром входного отверстия 3,6 см скорость сканирования, Sr, должна составлять 12 см/с или менее.

Если требуемые концентрации аэрозолей на входе фильтра не могут быть достигнуты, то следует изменить скорость сканирования. Скорость сканирования, Sr, см/с, может быть определена для скорости отбора проб счетчиком частиц 0,000472 м3/с по формуле (B.9):

 

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний, (B.9)

 

где Cc - концентрация контрольного аэрозоля до фильтра, частиц/м3;

Dp - размер стороны пробоотборника <1>, параллельной направлению сканирования, см;

Np - ожидаемое среднее число частиц, указывающее на согласованную утечку;

Pl - максимально допустимый проскок для испытуемой системы фильтрации для частиц с размером 0,3 мкм.

--------------------------------

<1> Для круглого пробоотборника применяется Dp - номинальный размер, параллельный направлению сканирования (примечание ТК 184).

 

B.7.3.4 Размер считаемых частиц и критерии приемлемости

Размер считаемых частиц должен быть равным или большим 0,3 мкм.

Если при сканировании обнаруживается любая утечка, то пробоотборник должен удерживаться в этом положении. Положение пробоотборника соответствует месту утечки.

При утечках более 0,01% от счетной концентрации аэрозоля до фильтра считается, что максимально допустимый проскок превышен. Однако для систем фильтрации с интегральной эффективностью в точке MPPS >= 99,95% и меньше 99,995% критерий приемлемости равен 0,1%.

Если системы фильтрации имеют интегральную эффективность менее 99,95% в точке MPPS, то следует установить другой критерий приемлемости по согласованию между заказчиком и исполнителем.

B.7.3.5 Ожидаемое число частиц

Приемлемое число частиц после фильтра, Na, при сканировании (этап 1) рекомендуется выбирать 0 или 1.

Величина Na является нижним доверительным пределом и может быть рассчитана по формуле B.10

 

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний, (B.10)

 

где Np - ожидаемое среднее число частиц, указывающее на согласованную утечку.

Величина Np использована в формуле (B.9) и может быть вычислена по формуле (B.11)

 

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний. (B.11)

 

Если Na = 0, то Np = 4. Если Na = 1, то Np = 5,83.

Примечание - Могут быть выбраны более высокие значения Na и Np при возможных ложных счетах частиц при неповрежденном фильтрующем материале.

 

B.7.3.6 Выбор контрольного аэрозоля до фильтра

В поток воздуха до фильтра следует ввести искусственный полидисперсный аэрозоль, для того чтобы достигнуть требуемой однородной концентрации. Средний диаметр частиц для этого метода должен быть, как правило, от 0,1 мкм до 0,5 мкм со стандартным геометрическим отклонением до 1,7.

Альтернативно могут быть использованы микросферы с соответствующим диаметром в качестве контрольного аэрозоля.

При невозможности введения искусственного аэрозоля следует подавать на фильтры атмосферный аэрозоль.

Примечание - Руководство по выбору материалов для получения аэрозолей дано в C.8.4.

 

B.7.3.7 Концентрация аэрозоля до фильтра и ее контроль

Концентрация аэрозоля до фильтра должна быть достаточно высокой, чтобы получить практически пригодные скорости сканирования по B.7.3.3. Концентрация аэрозоля до фильтра определяется по формуле (B.12)

 

Cc >= Np·Sr/(Qvs·Dp·Pl), (B.12)

 

где Cc - концентрация контрольного аэрозоля до фильтра, частиц/м3;

Dp - размер стороны пробоотборника, параллельной направлению сканирования, см;

Pl - максимально допустимый проскок для испытуемой системы фильтрации по частицам с размером 0,3 мкм;

Qvs - скорость отбора проб счетчиком частиц, м3/с;

Sr - скорость сканирования, см/с.

Основываясь на рекомендуемых размерах пробоотборника и скорости сканировании по B.7.3.2 и B.7.3.3, концентрация аэрозоля до фильтра может быть определена по формуле (B.12).

В большинстве случаев аэрозоль от генератора следует добавлять в поток воздуха до фильтра, чтобы достигнуть необходимой высокой концентрации контрольного аэрозоля. Для проверки таких высоких концентраций может потребоваться система разбавления во избежание превышения допустимой концентрации для счетчика частиц (ошибка совпадения).

Концентрация контрольного аэрозоля может быть изменена за счет изменения скорости сканирования согласно формуле (B.9).

Следует выполнить необходимые измерения для проверки однородности смешивания аэрозоля в потоке приточного воздуха. При первоначальном проведении испытаний следует убедиться в достаточном смешивании аэрозоля. Для проведения такой проверки следует определить и записать все точки ввода аэрозоля и точки отбора проб.

Концентрация аэрозоля непосредственно на входе фильтра не должна меняться в течение времени более чем +/- 15% от среднего значения. Концентрации меньше среднего значения приведут к снижению чувствительности по обнаружению малых утечек, в то время как высокие концентрации увеличат чувствительность. Более подробные указания по контролю смешивания аэрозоля с воздухом должны быть определены соглашением между заказчиком и исполнителем.

Если концентрация аэрозоля на входе фильтра меняется в течение времени, то измерения следует продолжать при сканировании на утечку, для того чтобы получить данные для определения числа частиц после фильтра.

B.7.3.8 Методика проверки на утечку установленной системы фильтрации путем сканирования, этап 1

B.7.3.8.1 Общие положения

До проведения испытаний следует проверить скорость потока воздуха по B.2. Если системы работают при различных расходах воздуха, для испытания сканированием следует выбрать наибольшее значение. Испытание проводится путем введения контрольного аэрозоля на вход фильтра(ов) и поиска утечек путем сканирования лицевой поверхности после фильтра и системы крепления с помощью счетчика частиц LSAPC в следующем порядке:

a) определить концентрацию аэрозоля на входе фильтра по B.7.3.7;

b) выполнить сканирование пробоотборником со скоростью, не превышающей Sr по B.7.3.3, незначительно перекрывающими движениями. Пробоотборник следует держать на расстоянии примерно 3 см от лицевой поверхности фильтра или элементов крепления;

c) сканирование следует выполнять по всей лицевой поверхности каждого фильтра, периметру каждого фильтра, герметику между корпусом фильтра и системой крепления, включая соединения;

d) измерение концентрации аэрозоля до фильтров следует повторять через достаточные интервалы времени между и после сканирования, чтобы подтвердить стабильность концентрации аэрозоля до фильтра (см. B.7.3.7).

B.7.3.8.2 Измеряемые параметры для двух видов сканирования

Как правило, счетчики частиц предусматривают счет частиц в заданном объеме пробы воздуха. Многие счетчики не могут выдавать данные о счете частиц в течение очень коротких периодов времени при непрерывном измерении.

Таким образом, для условий Na = 0 или Na = 1 (Na - допустимое число частиц для данных условий испытаний) следует проводить испытания установленной системы фильтрации на утечку методом сканирования с помощью счетчика частиц LSAPC.

Принимая это условие, испытание на утечку следует выполнять при каждом счете при проведении испытания или в промежуток времени между счетами.

Если счетчик может подавать звуковой сигнал при каждом счете, то утечку можно определять по этому звуку.

Если счетчик может показывать счет частиц в течение очень коротких периодов времени при непрерывной работе, то может использоваться любое значение Na. Принимается, что утечка отсутствует, если обнаруженное число частиц равно или меньше величины Na за время Dp/Sr.

Могут использоваться два типа методов сканирования в зависимости от условий испытаний:

1. Метод сканирования (a): выбирают Na = 0 для частиц с размерами 0,3 мкм:

- применяется, когда периодичность стационарных повторных измерений ожидается малой;

- метод (a) требует меньших концентраций на входе фильтра, чем метод (b);

- считается, что утечка отсутствует, если счет равен 0; сканирование может быть продолжено.

2. Метод сканирования (b): выбирают Na = 1 для частиц с размерами 0,3 мкм:

- применяется, когда может потребоваться стационарное повторение измерений;

- метод (b) требует более высокой концентрации аэрозоля на входе фильтра, чем метод (a), но влияние ошибки счета снижается;

- считается, что утечка отсутствует, если счет равен 0 или 1. Сканирование может быть продолжено.

B.7.3.9 Метод стационарных повторных измерений

B.7.3.9.1 Общие положения

Обнаружение числа частиц, большего чем Na, указывает на возможную утечку, тогда следует провести повторное измерение в стационарном состоянии.

B.7.3.9.2 Определение утечки при стационарном повторном измерении

a) Число обнаруженных частиц меньше Nar: число обнаруженных частиц за время Tr, равное или меньшее, чем Nar, указывает на отсутствие утечки.

b) Число обнаруженных частиц больше Nar: если число обнаруженных частиц превышает Nar, то может потребоваться стационарное повторное измерение. Если число обнаруженных частиц все еще превышает Nar, то это указывает на утечку в фильтре.

B.7.3.9.3 Определение контролируемых параметров при стационарном повторном измерении

Рекомендуемое время нахождения пробоотборника, Tr, равно 10 с.

Число обнаруженных частиц, указывающее на утечку, Npr, и допустимый счет при стационарном повторном измерении, Nar, вычисляются по формулам (B.13) и (B.14)

 

Npr = Cc·Pl·Qvs·Tr, (B.13)

 

ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний, (B.14)

 

где Cc - концентрация контрольного аэрозоля до фильтра, частиц/м3;

Nar - допустимое число частиц при стационарном повторном измерении;

Npr - ожидаемое число частиц при стационарном повторном измерении, указывающее на согласованную утечку;

Pl - максимально допустимый проскок для испытуемой системы фильтрации по частицам с размером 0,3 мкм;

Qvs - скорость отбора проб счетчиком частиц, м3/с;

Tr - рекомендуемое время нахождения пробоотборника под точкой с утечкой (проскоком), с.

B.7.3.10 Пример применения

Примеры определения контрольных параметров показаны в таблице B.3. Таблица дает примеры для значений Dp = 1 см и Wp = 8 см и скорости сканирования Sr = 5 см/с и круглого пробоотборника с диаметром 3,6 см и скоростью сканирования Sr = 12 см/с.

 

Таблица B.3

 

Пример применения методов оценки

 

Параметры измерений

Прямоугольный пробоотборник

(1 см x 8 см)

Круглый пробоотборник

(диаметр 3,6 см)

 

Вид сканирования

Тип (a)

Тип (b)

Тип (a)

Тип (b)

Pl

Максимально допустимый проскок для испытуемой системы фильтрации по частицам с размером 0,3 мкм

0,0001 (0,01%)

0,0001 (0,01%)

Dp

Размер стороны пробоотборника <1>, параллельной направлению сканирования, см

1

2,54

Sr

Скорость сканирования (скорость движения пробоотборника), см/с

5

12

Qvs

Скорость отбора проб счетчиком частиц, м3

0,000472

0,000472

Np

Ожидаемое число частиц, указывающее на согласованную утечку с учетом Na - Этап 1

4,0

5,83

4,0

5,83

Na

Допустимое число частиц за время Ts при сканировании - Этап 1

0

1

0

1

Cc

Концентрация контрольного аэрозоля до фильтра, частиц/м3

423 728 814

617 584 746

400 373 682

583 544 642

Npr

Ожидаемое число частиц за время Tr = 10 с при стационарном повторном измерении, указывающее на согласованную утечку с учетом Nar - Этап 2

200,00

291,50

188,98

275,43

Nar

Допустимое число частиц за время Tr = 10 с при стационарном повторном измерении - Этап 2 (округленно)

171,72

(171)

257,35

(257)

161,48

(161)

242,24

(242)

 

--------------------------------

<1> Для круглого пробоотборника применяется Dp - номинальный размер, параллельный направлению сканирования (примечание ТК 184).

 

B.7.4 Методика испытаний на общую утечку фильтров, установленных в воздуховоды или кондиционеры

Этот метод может использоваться для оценки общей утечки в фильтрах, установленных в воздуховодах. Он может также использоваться для определения общей утечки в многоступенчатой системе фильтрации без проверки отдельных ступеней. Важно учитывать, что этот метод существенно менее чувствителен по обнаружению утечек, чем метод по B.7.2 и B.7.3. На результаты контроля общей утечки влияет общий расход воздуха в системе, поскольку при увеличении расхода воздуха возрастают утечки. Поэтому этот метод следует использовать там, где установленные в воздуховоде фильтры обслуживают менее критичные зоны чистых помещений и где сканирование этих фильтров трудно реализуемо. В критических ситуациях следует использовать метод сканирования.

Примечание - Этот метод не предназначен для испытаний вытяжных HEPA фильтров.

 

Испытание выполняется путем введения контрольного аэрозоля до фильтров, установленных на удалении от чистого помещения или чистой зоны. В первую очередь следует определить концентрацию частиц до фильтра. Затем следует определить концентрацию частиц в потоке воздуха после фильтра и сравнить ее с концентрацией до фильтра, чтобы определить общую утечку или проскок в системе фильтрации [19].

До проведения этого испытания при первичной аттестации следует проверить скорость потока воздуха по B.2. Сначала следует определить концентрацию аэрозолей по B.7.2.6 (метод с использованием фотометра аэрозолей) или по B.7.3.7 (метод с использованием счетчика частиц LSAPC) для проверки концентрации аэрозоля и его однородности.

Концентрация частиц в аэрозоле после фильтра следует определять в точках, в которых достигнута однородность аэрозоля. Если однородность смешивания не достигается, то проводится несколько измерений в местах с равномерным распределением в согласованной плоскости на расстоянии от 30 см до 100 см после фильтра. Этот метод предусматривает отбор проб в ячейках условной сетки. Расположение точек и число измерений должно быть согласовано заказчиком и исполнителем.

Следует проверять концентрацию частиц контрольного аэрозоля до фильтров через достаточные интервалы времени для подтверждения стабильности источника контрольного аэрозоля (B.7.2.6 и B.7.3.7).

При использовании фотометра определяется локальная утечка для каждой точки измерений после фильтра как процентное отношение к измеренной общей концентрации аэрозоля до фильтра. При использовании счетчика частиц LSAPC следует определить локальные утечки для каждой точки измерений после фильтра для заданного размера частиц как процентное соотношение концентрации частиц на входе фильтра. Каждая концентрация частиц после фильтра должна быть ниже заданной процентной концентрации или определена соглашением между заказчиком и исполнителем.

Ремонт мест утечки может выполняться в соответствии с B.7.6 или методом, согласованным между заказчиком и исполнителем.

Примечание - В случаях, когда требуется проверка на утечку методом сканирования фильтров, установленных в воздуховодах, используются методы по B.7.2 и B.7.3.

 

B.7.5 Приборы и материалы для испытаний установленных систем фильтрации на утечку

B.7.5.1 Фотометр аэрозолей (C.8.1) ограничен в применении для случаев, когда фоновый счет или концентрации составляют менее 10% от величины, характеризующей утечку.

B.7.5.2 Счетчик аэрозольных частиц, работающий по принципу рассеяния света (LSAPC), ограничен в применении для случаев, когда фоновый счет или концентрации составляют менее 10% от величины, характеризующей утечку.

B.7.5.3 Пневматический или термический генератор(ы) аэрозолей служит для получения контрольного аэрозоля в нужных концентрациях и в соответствующем диапазоне размеров (C.8.3).

B.7.5.4 Система разбавления (см. C.5.4).

B.7.5.5 Материалы для получения аэрозолей (см. C.8.4).

Приборы по B.7.5.1 - B.7.5.3 должны иметь действующие сертификаты калибровки.

B.7.6 Ремонт и методы ремонта

Ремонт мест утечек допускается только по соглашению между заказчиком и исполнителем. Метод ремонта должен учитывать инструкции производителя оборудования или заказчика.

При выборе материалов для ремонта следует учитывать возможность выделения газов или оседания частиц на продукты или в процессах.

Обнаруженные места утечки в фильтрах, герметиках или системе креплений подлежат ремонту.

Ремонт фильтров или систем крепления может выполняться методами, согласованными между заказчиком и исполнителем.

После завершения ремонта и выдержки необходимого времени следует повторить испытания сканированием в месте утечки принятым методом.

B.7.7 Протоколы испытаний

По соглашению между заказчиком и исполнителем должна быть документально оформлена следующая информация и данные согласно разделу 5:

a) метод испытаний: фотометр аэрозолей или счетчик частиц (LSAPC);

b) наименование каждого контрольно-измерительного прибора и наличие калибровки;

c) характеристики фильтра;

d) специальные условия и/или требования к этому методу испытаний и специальные условия, согласованные между заказчиком и исполнителем;

e) полученная концентрация аэрозоля до фильтра с указанием точек отбора проб и времени измерений;

f) скорость отбора проб и размер частиц при применении счетчика частиц LSAPC;

g) вычисленные средние значения концентрации аэрозоля до фильтра и их распределение;

h) вычисленные критерии приемлемости для измерений после фильтра;

i) результаты измерений после каждого фильтра с четким обозначением фильтра, зоны или места измерения;

j) окончательные результаты испытаний для каждого определенного места;

k) если утечка не обнаружена, то испытания прошли успешно, в противном случае должно быть указано место утечки, выполнение ремонта и результаты повторного контроля.