ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний

B.6 Контроль влажности

B.6.1 Общие положения

Контроль влажности выполняется с целью проверки способности чистого помещения поддерживать значения влажности воздуха (выраженной в виде относительной влажности или точке росы) в заданных пределах в течение времени, согласованного заказчиком и исполнителем, в пределах определенной зоны. Методы контроля даны в ИСО 7726 [28] и других документах.

B.6.2 Приборы для контроля влажности

Контроль влажности следует выполнять с помощью сенсора, имеющего точность согласно ИСО 7726 [28]. К типовым сенсорам относятся:

a) датчик влажности с конденсатором на диэлектрической тонкой пленке;

b) датчик точки росы;

c) психометр.