ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний

4 Методы испытаний

 

4.1 Испытания чистых помещений

4.1.1 Общие положения

Классификация чистых помещений или чистых зон по концентрации аэрозольных частиц выполняется по ИСО 14644-1 [1]. Дополнительные показатели чистоты следует выбирать по таблице 1, если требуется.

Примечание - Каждый стандарт содержит методы контроля, основанные на характеристиках специфических свойств, руководство по оценке полученных данных и характеристики контрольного оборудования.

 

Таблица 1

 

Методы испытаний для чистых помещений и чистых зон

 

Общее описание	Ссылка на
Уровни чистоты поверхностей по концентрации частиц	ИСО 14644-9 [6]
Уровни чистоты воздуха по химическим загрязнениям	ИСО 14644-8 [5]
Уровни чистоты поверхностей по химическим загрязнениям	ИСО 14644-10 [7]
Текущий контроль (мониторинг) чистоты воздуха по концентрации частиц в нанодиапазоне	ИСО 14644-12 [8]

 

4.1.2 Вспомогательные испытания

В таблице 2 приведены другие виды контроля, которые могут быть использованы для оценки функционирования чистого помещения или чистой зоны. Эти испытания могут выполняться в каждом из трех состояний; подробности приведены в приложении B для областей применения. Эти испытания могут не быть исчерпывающими, не все они могут требоваться для конкретного проекта. Испытания и методы испытаний следует выбирать по соглашению между заказчиком и исполнителем. Выбранные испытания могут также повторяться регулярно, как часть текущего контроля (мониторинга) или периодического контроля. Руководство по выбору этих методов испытаний и контрольный лист испытаний приведены в приложении A. Методы испытаний приведены в приложении B.

Примечание - Методы испытаний, приведенные в приложении B, имеют только справочный характер. Для конкретных областей применения могут быть разработаны специальные методы.

 

Таблица 2

 

Вспомогательные методы испытаний

 

Вспомогательные испытания	Пункт ИСО 14644-3
	Область применения	Методика	Оборудование
Контроль перепада давления воздуха	4.2.1	B.1	C.2
Контроль потока воздуха	4.2.2	B.2	C.3
Контроль направления и визуализация потока воздуха	4.2.3	B.3	C.4
Контроль времени восстановления	4.2.4	B.4	C.5
Контроль температуры	4.2.5	B.5	C.6
Контроль влажности	4.2.6	B.6	C.7
Контроль утечек установленной системы фильтрации	4.2.7	B.7	C.8
Контроль герметичности ограждающих конструкций	4.2.8	B.8	C.9
Статическое электричество и генерирование ионов	4.2.9	B.9	C.10
Контроль осаждения частиц <a>	4.2.10	B.10	C.11
Контроль разделения зон	4.2.11	B.11	C.12
Примечание - Настоящие вспомогательные методы испытаний представлены не в порядке их значимости или хронологии. Последовательность выполнения испытаний может определяться требованиями специальных документов или по соглашению между заказчиком и исполнителем.   -------------------------------- <a> Испытание на осаждение частиц также может проводиться при аттестации чистого помещения в эксплуатации.