ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020. Национальный стандарт Российской Федерации. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний
Утвержден и введен в действие
Приказом Федерального агентства
по техническому регулированию
и метрологии
от 24 ноября 2020 г. N 1152-ст
НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРОЛИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
ЧАСТЬ 3
МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ
Cleanrooms and associated controlled
environments. Part 3. Test methods
(ISO 14644-3:2019, IDT)
ГОСТ Р ИСО 14644-3-2020
ОКС 13.040.35
19.020
Дата введения
1 сентября 2021 года
ОГЛАВЛЕНИЕ
- Предисловие
- Введение
- 1 Область применения
- 2 Нормативные ссылки
- 3 Термины и определения
- 3.1 Общие термины
- 3.2 Аэрозольные частицы
- 3.3 Фильтры и системы очистки воздуха
- 3.4 Поток воздуха и другие физические свойства
- 3.5 Измерение статического электричества
- 3.6 Контрольно-измерительное оборудование и условия контроля (испытаний)
- 3.7 Состояния чистого помещения
- 4 Методы испытаний
- 4.1 Испытания чистых помещений
- 4.2 Основные принципы
- 5 Протоколы испытаний
- Приложение A. Выбор дополнительных испытаний и контрольный лист
- A.1 Общие положения
- A.2 Контрольный лист
- A.3 Планирование испытаний и контроля параметров
- Приложение B. Дополнительные методы контроля
- B.1 Измерение перепада давления
- B.2 Анализ воздушных потоков
- B.3 Определение направления потока воздуха, визуализация потока
- B.4 Определение времени восстановления
- B.5 Контроль температуры
- B.6 Контроль влажности
- B.7 Испытание целостности установленной системы фильтрации
- B.8 Испытание герметичности ограждающих конструкций
- B.9 Измерение статического электричества и генерирования ионов
- B.10 Контроль осаждения частиц
- B.11 Контроль разделения зон
- Приложение C. Оборудование для проведения испытаний
- C.1 Общие положения
- C.2 Контроль перепада давления воздуха
- C.3 Контроль потока воздуха
- C.4 Контроль направления потока воздуха и визуализация
- C.5 Контроль времени восстановления
- C.6 Контроль температуры
- C.7 Контроль влажности
- C.8 Контроль целостности установленной системы фильтрации
- C.9 Контроль герметичности ограждающих конструкций
- C.10 Контроль статического электричества и генерирования ионов
- C.11 Контроль осаждения частиц
- C.12 Контроль разделения зон
- Библиография
Подписаться на обновления