ГОСТ Р ИСО 16258-1-2017. Национальный стандарт Российской Федерации. Воздух рабочей зоны. Анализ вдыхаемого кристаллического кремния методом рентгеновской дифракции. Часть 1. Метод прямого измерения с применением фильтра

6.3 Рентгенофазовый анализ

6.3.1 Параметры устройства

Прибор должен обеспечивать оптимальные условия для интенсивности, а не для разрешающей способности. В идеале входные щели и маска должны быть разработаны так, чтобы позволить облучить большинство фильтров с пробами. Например, целесообразно установить входные щели, способные облучать 18 мм площади пробы. Рекомендовано использовать трубки с широким фокусом, так как они распределяют большие единицы потока на площадь пробы фильтра. В основном используют мощность, равную по меньшей мере 1,6 кВт, хотя более высокие значения дают лучшую чувствительность. Примеры инструментальных параметров приведены в приложении A.

6.3.2 Параметры сканирования

Параметры сканирования должны быть оптимизированы для достижения минимальной инструментальной прецизионности, равной 4%, при анализе пробы с массой ВКК, близкой к ПЗПВ. Это достигается за счет изменения параметров измерения (время счета и размер шага) до точки, в которой дальнейшее улучшение прецизионности возможно лишь при измерении фильтра с известной массой ВКК. Обычно используют массы, равные предельному и половинному значению воздействия на рабочем месте. Производители предоставляют множество приборов с разным программным обеспечением, и они могут иметь разные подходы для сбора данных. Как правило, вокруг каждого РФА отражения собирают данные в диапазоне , хотя некоторые программы для количественной оценки могут потребовать больший диапазон сканирования. Примеры параметров сбора данных приведены в приложении B.