ГОСТ ISO/TS 80004-6-2016. Межгосударственный стандарт. Нанотехнологии. Часть 6. Характеристики нанообъектов и методы их определения. Термины и определения

5.2 Термины и определения понятий, относящихся к методам определения характеристик кристаллических нанообъектов

5.2.1 дифракция рентгеновского излучения: Явление рассеяния рентгеновского излучения в результате взаимодействия с электронами вещества, лежащее в основе метода рентгеноструктурного анализа, в котором из сформированной дифракционной картины получают информацию о структуре исследуемого объекта.

X-ray diffraction

Примечание - С помощью метода рентгеноструктурного анализа можно определить размеры области когерентного рассеяния объекта.

5.2.2

дифракция отраженных электронов; ДОЭ: Явление обратного рассеяния электронов, возникающее вследствие взаимодействия электронов с атомными плоскостями кристаллической решетки объекта, при облучении объекта электронным пучком.

electron backscatter diffraction; EBSD

[ISO 24173:2009, статья 3.7]